INFICON PEG100, yüksek vakum ölçümleri için kullanılan soğuk katot (Penning) prensibiyle çalışan vakum ölçüm cihazıdır. Endüstriyel vakum sistemlerinde, Ar-Ge laboratuvarlarında ve yarı iletken üretim proseslerinde güvenilir ölçüm sağlar.

Teknik Özellikler

Genel Özellikler
Ölçüm Aralığı: 1 × 10⁻⁹ … 1 × 10⁻² mbar
Ölçüm Prensibi: Penning soğuk katot iyonizasyonu
Ölçüm Belirsizliği (10⁻⁸ … 10⁻⁴ mbar aralığında): ± %30 gösterilen değerden
Tekrarlanabilirlik: < %4
Sıcaklık Katsayısı: < %0,5 / K (gösterilen değer üzerinden)
Elektriksel Özellikler
Besleme Gerilimi: 14,5 … 36 V DC (tipik 24 V DC, dalgalanma max. 2 Vss)
Güç Tüketimi: < 2 W
Koruma Sınıfı: IP40
Yanıcılık: UL 94-V2
Çıkış ve Kontrol
Çıkış Sinyali: 0,66 … 10 V, logaritmik (1.333 V/decade)
İzin Verilen Yük Direnci: ≥ 10 kΩ
Durum Çıkışı (READY): Yüksek seviye (13,5 … 35 V, max. 50 mA)
HV Kontrolü:
Pin 7 (negatif lojik): ON < 2,5 V / OFF>4 V
Pin 8 (pozitif lojik): ON > 12 V / OFF < 7 V
Mekanik Özellikler
Vakum Bağlantısı: DN 25 KF veya DN 40 CF
İç Hacim: ~21 cm³
Ortamla Temas Eden Malzemeler: Paslanmaz çelik, CrNi, Al₂O₃ seramik, NiFe, Ni, titanyum
Aşırı Basınç Toleransı: ≤ 10 bar abs
Ağırlık: ~500 g
Boyutlar: 80 × 126 × 73 mm
Çevresel Koşullar
Çalışma Sıcaklığı: +10 … +50 °C
Depolama Sıcaklığı: –20 … +70 °C
Nem Dayanımı:
%70’e kadar (10⁻² … 10⁻⁹ mbar aralığında)
%95’e kadar (10⁻² … 10⁻⁷ mbar aralığında)